Verfahren zum Sterilisieren einer Gruppe von in einer evakuierbaren Sterilisationskammer befindlichen Behältern, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:(a) Einbringen der Gruppe von Behältern in die geöffnete Sterilisationskammer,(b) Hermetisches Verschließen der Sterilisationskammer,(c) Vorevakuieren der Sterilisationskammer auf einen unter 500 mb liegenden Druck,(d) Einspeisen eines Wasserdampf und Wasserstoffperoxiddampf enthaltenden Dampfgemisches in die Sterilisationskammer,(e) Kondensierenlassen des Dampfgemisches an den Oberflächen der Behälter,(f) Entfernen des gebildeten Kondensates durch Evakuieren der Sterilisationskammer auf einen Druck, bei dem die beiden Komponenten des Kondensates verdampfen,(g) Fluten der Sterilisationskammer mit einem Sterilgas,(h) Öffnen der Sterilisationskammer und(i) Entnehmen der Gruppe von Behältern aus der Sterilisationskammer.A method for sterilizing a group of the sterilization containers located in an evacuable, characterized by the following process steps:(a) introducing the group of containers in the opened sterilization chamber,(b) hermetic closure of the sterilization chamber,(c) preevacuation of the sterilization chamber to a pressure lying below 500 mb,(d) feeding a water vapor and vapor mixture containing hydrogen peroxide vapor into the sterilization chamber,(e) of the vapor mixture can condense on the surfaces of the container,(f) removing the formed condensate by evacuation of the sterilization chamber to a pressure, in which the two components of the condensate evaporation,(g) the flooding of the sterilization chamber with a sterile gas,(h) opening of the sterilization chamber and(i) removing the group of containers of the sterilization chamber.