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ULTRASONIC DEVICE, ULTRASONIC MODULE, ELECTRONIC APPARATUS AND ULTRASONIC MEASURING DEVICE
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
KIYOSE SETSUNAI,清瀬 摂内,HASHIMOTO NOBUAKI,橋元 伸晃
申请号:
JP2015147109
公开号:
JP2017023554A
申请日:
2015.07.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic device, an ultrasonic module, an electronic apparatus, and an ultrasonic measuring device, which can secure waterproofness and perform highly accurate transmission/reception control.SOLUTION: An ultrasonic device 22 comprises: an element substrate 41; an ultrasonic transducer array 50 provided to a back surface 41A of the element substrate 41 and having a plurality of ultrasonic transducers 51 disposed in an array; an electrode wire 414C connected to the plurality of ultrasonic transducers 51 on the back surface 41A of the element substrate 41 and led out to a terminal region outside than the ultrasonic transducer array 50 when the element substrate 41 is viewed in a plan view in a normal direction; a sealing plate 42 bonded to a back surface 41A side of the element substrate 41; and through electrodes 422 located outside than a region facing the ultrasonic transducer array 50 of the sealing plate 42, passing through the sealing plate 42 in a thickness direction at positions facing electrode pads 414P of the electrode wire 414C, and connected to the electrode pads 414P.SELECTED DRAWING: Figure 5【課題】防水性を確保し、かつ、高精度な送受信制御が可能な超音波デバイス、超音波モジュール、電子機器、及び超音波測定装置を提供する。【解決手段】超音波デバイス22は、素子基板41と、素子基板41の背面41Aに設けられ、複数の超音波トランスデューサー51がアレイ配置された超音波トランスデューサーアレイ50と、素子基板41の背面41Aで超音波トランスデューサー51に接続され、素子基板41を法線方向から見た平面視において、超音波トランスデューサーアレイ50よりも外側の端子領域に引き出された電極線414Cと、素子基板41の背面41A側に接合された封止板42と、封止板42の超音波トランスデューサーアレイ50に対向する領域よりも外側で、かつ、電極線414Cの電極パッド414Pに対向する位置において、封止板42を厚み方向に貫通し、電極パッド414Pに接続される貫通電極422と、を備える。【選択図】図5
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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