一种自组装单层膜表面制备BiFeO₃薄膜图案化的方法

• 收藏
• 分享

专利权人:

陕西科技大学

发明人:

宋亚玉,谈国强

申请号：

CN200910023940.1

公开号：

CN101654218A

申请日:

2009.09.17

申请国别(地区):

中国

年份:

2010

代理人:

陆万寿

摘要：

本发明公开了一种自组装单层膜表面制备BiFeO₃薄膜图案化的方法，按照以下步骤：(1)制备洁净基片；(2)制备OTS-SAMs基体；(3)制备图案化SAMs；(4)制备前驱体溶液；(5)制备BiFeO₃薄膜；(6)BiFeO₃薄膜在60℃低温环境下干燥，然后在350℃进行预处理10min以便络合物及有机物分解获得样品；最后将样品放于马弗炉中以3℃/min速率升温，在400-620℃的高温下保温2小时使BiFeO₃薄膜晶化。本发明的有益效果是所制备的BiFeO₃薄膜表面结构致密均一，在较低的煅烧温度下即可生成纯相的BiFeO₃薄膜，还可以根据不同的实际需要提供不同表面微结构的BiFeO₃图案化薄膜。制备工艺简单，制备过程也不会产生污染，是一种环境友好薄膜制备技术。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/