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图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法
- 专利权人:
- 陕西科技大学
- 发明人:
- 谈国强,王艳,任宣儒,宋亚玉
- 申请号：
- CN201010615750.1
- 公开号：
- CN102163486A
- 申请日:
- 2010.12.30
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 汪人和
- 摘要：
- 本发明公开了一种图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法，该方法包括下述制备步骤：步骤一：选用普通载玻片为基底，将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干；紫外光照射仪中照射；步骤二：将经紫外光照射后的玻璃基片置于OTS-甲苯溶液中浸泡，使基片表面形成一层OTS单分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗，吹干，烘干；在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射，得到图案化的功能自组装薄膜；步骤三：配制BiFeO3前驱体溶液，并将图案化的功能自组装薄膜的OTS-SAMs基体置于前驱液中，沉积，超声波震荡清洗，退火，即得光刻自组装的图案化BiFeO3薄膜。该方法通过采用液相沉积法与光刻自组装技术相结合来制备BiFeO3图案化薄膜，该薄膜边缘轮廓清晰、与基底结合牢固。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
