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PROCEDES DE CONTROLE D'ADHERENCE DE FILM METALLIQUE PAR DEPOT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR SUR DES SUBSTRATS ET DES SURFACES
专利权人:
MEDTRONIC MINIMED; INC.
发明人:
SRINIVASAN, AKHIL,WANG, YIFEI
申请号:
CA3088275
公开号:
CA3088275A1
申请日:
2019.02.06
申请国别(地区):
CA
年份:
2019
代理人:
摘要:
A method of depositing of a film on a substrate with controlled adhesion. The method comprises depositing the film including metal, wherein the metal is deposited on the substrate using physical vapor deposition at a pressure that achieves a pre-determined adhesion of the film to the substrate. The pre-determined adhesion allows processing of the film into a device while the film is adhered to the substrate but also allows removal of the device from the substrate.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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