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PROCÉDÉS DE CONTRÔLE D'ADHÉRENCE DE FILM MÉTALLIQUE PAR DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR SUR DES SUBSTRATS ET DES SURFACES
专利权人:
MEDTRONIC MINIMED; INC.
发明人:
SRINIVASAN, Akhil,WANG, Yifei
申请号:
USUS2019/016926
公开号:
WO2019/157106A2
申请日:
2019.02.06
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要:
A method of depositing of a film on a substrate with controlled adhesion. The method comprises depositing the film including metal, wherein the metal is deposited on the substrate using physical vapor deposition at a pressure that achieves a pre-determined adhesion of the film to the substrate. The pre-determined adhesion allows processing of the film into a device while the film is adhered to the substrate but also allows removal of the device from the substrate.L'invention concerne un procédé de dépôt d'un film sur un substrat avec une adhérence contrôlée. Le procédé consiste à déposer le film comprenant du métal, le métal étant déposé sur le substrat à l'aide d'un dépôt physique en phase vapeur à une pression qui atteint une adhérence prédéfinie du film sur le substrat. L'adhérence prédéfinie permet le traitement du film dans un dispositif lorsque le film est collé au substrat, mais permet également le retrait du dispositif vis-à-vis du substrat.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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