A sterilization chamber, a sterilization chamber, a vaporization chamber, a wall dividing the vaporization chamber into a first room and a second room, a first passage connecting the first room and the second room, A table arranged in the first room, a nozzle arranged toward the table and spraying the sterilizing agent toward the table, and a liquid for storing a liquid component of the sterilizing agent sprayed toward the table A reservoir, a second passage connecting the second chamber and the sterilization chamber, and a first passage of the vaporization chamber through the first passage and the second passage while decompressing the sterilization chamber. Means for decompressing the room and the second room are provided, and the first passage is formed by a band-shaped gap having a small thickness and a large width.滅菌装置は、滅菌室と、気化室と、前記気化室を第１の部屋と第２の部屋を仕切る壁と、前記第１の部屋と第２の部屋を接続する第１の通路と、前記第１の部屋に配置されたテーブルと、前記テーブルに向けて配置され、前記滅菌剤を前記テーブルに向けて噴霧するノズルと、前記テーブルに向けて噴霧された前記滅菌剤の液体成分を溜める液溜部と、前記第２の部屋と前記滅菌室を接続する第２の通路と、前記滅菌室を減圧するとともに前記第１の通路と前記第２の通路を介して前記気化室の第１の部屋と第２の部屋を減圧する手段を備えており、前記第１の通路は、厚さが小さく且つ幅が広い帯状の隙間によって形成されている。
