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感光性組成物、重合体、樹脂膜およびその製造方法ならびに電子部品
- 专利权人:
- ＪＳＲ株式会社
- 发明人:
- 内田 太郎,西村 功,松村 融,猪俣 克巳,丸山 洋一郎
- 申请号：
- JP20140556342
- 公开号：
- JPWO2014109143(A1)
- 申请日:
- 2013.11.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- [課題] 解像性に優れたフォトレジスト材料を提供する。[解決手段] （Ａ）式（Ａ１）で表される構造単位を有する重合体と、（Ｂ）感光性酸発生剤とを含有する感光性組成物。［式（Ａ１）中、Ａｒ1は、芳香環を有し、かつ２つの結合手が芳香環構造にある二価の基であり；ただし、Ａｒ1はフェノール性水酸基およびカルボキシル基から選ばれる少なくとも一種の基を有し；Ｒ1は、アルカンジイル基、飽和脂肪族環を有する二価の基、または式（Ａ２）：−Ｒ2−Ａｒ2−Ｒ3−で表される二価の基（式（Ａ２）中、Ａｒ2は、アリーレン基であり；Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立にアルカンジイル基である。）である。］
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
