層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、層間絶縁膜及び層間絶縁膜の形成方法
- 专利权人:
- 東京応化工業株式会社
- 发明人:
- 鵜野 和英
- 申请号：
- JP20160545432
- 公开号：
- JPWO2016031580(A1)
- 申请日:
- 2015.08.12
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、加熱により酸を発生する熱酸発生剤（Ｔ）と、シランカップリング剤（Ｃ）と、を含有する層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、下記一般式（ａ−１）で表される構成単位（Ａ１）又は脂環式エポキシ基含有単位（Ａ３）を有する層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物。一般式（ａ−１）中、Ｒは水素原子又はメチル基を表し、Ｒａ０１は水素原子、又は水酸基を有する有機基を表す。［化１］
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- 中国工程科技知识中心
