層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、層間絶縁膜及び層間絶縁膜の形成方法、並びにデバイス
- 专利权人:
- 東京応化工業株式会社
- 发明人:
- 鵜野 和英
- 申请号：
- JP20150223904
- 公开号：
- JP2017090803(A)
- 申请日:
- 2015.11.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】機械特性（例えば破断伸度等）が更に高められた層間絶縁膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、官能基数が３以上であるウレタン（メタ）アクリレートから誘導される構成単位（ｚ１）を有する重合体（Ｚ）（但し、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を除く）と、を含有する層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、この硬化物を含む層間絶縁膜及び層間絶縁膜の形成方法、並びに、支持体上に前記の層間絶縁膜を備えたデバイス。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
