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層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、層間絶縁膜、デバイス及び層間絶縁膜の形成方法
- 专利权人:
- 東京応化工業株式会社
- 发明人:
- 鵜野 和英
- 申请号：
- JP20150209228
- 公开号：
- JP2017083540(A)
- 申请日:
- 2015.10.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、層間絶縁膜及び層間絶縁膜の形成方法の提供。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、下記一般式（ｚ−１）で表される構成単位（ｚ１）を有する樹脂（Ｚ）（但し、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を除く）と、を含有する層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物［前記一般式中、Ｒは水素原子又はメチル基を表し、Ｖｚ０１はアルキレングリコールに由来する基を含有する２価の連結基を表し、Ｒｚ０１は水素原子又は炭化水素基を表す。Ｏは酸素原子を表し、Ｌｚ０１は置換基としてヒドロキシ基を有していてもよいアルキレン基を表し、ｐは１〜１０の整数を表す。］［化１］【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
