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平面振動計測装置及び平面振動計測方法
专利权人:
国立大学法人 新潟大学
发明人:
崔 森悦
申请号:
JP20150116904
公开号:
JP2017003397(A)
申请日:
2015.06.09
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】大規模な測定物体について、従来のCCDカメラ等の撮像素子を備える光学干渉計を用いて、振動面の2次元的な周波数、位相、振幅の分布を一括で求めることができる平面振動計測装置を提供する。【解決手段】本発明の平面振動計測装置は、光を出射する光源1と、第1周波数で振動する測定物体4と、第2周波数で振動する参照ミラー6と、受光素子9と、制御部12と、光源1が出射する光を分岐し測定物体4の方向と参照ミラー6の方向にそれぞれ出射する分岐部3と、測定物体4から反射された光と参照ミラー6から反射された光とを統合して受光素子9に出射する統合部3,8と、を備え、第1周波数と第2周波数との差は受光素子9のフレームレートより小さく、受光素子9は統合部3,8により統合された光に基づく干渉画像を生
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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