金属化合物結晶性膜およびその製造方法
- 专利权人:
- 国立大学法人東京工業大学
- 发明人:
- 大友 明,吉松 公平,呉 東広平
- 申请号：
- JP20160154759
- 公开号：
- JP2018020946(A)
- 申请日:
- 2016.08.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】本発明によれば、低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属酸化物等の金属化合物結晶性膜を提供する。【解決手段】面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって；化合物が酸化物または窒化物であり；かつ面内結晶方位の分散が３０度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
