酸化アルミニウム膜用のエッチング液と、当該エッチング液を用いた薄膜半導体装置の製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＪＯＬＥＤ
- 发明人:
- 東 寛史,日高 義晴
- 申请号：
- JP20150512288
- 公开号：
- JPWO2014171054(A1)
- 申请日:
- 2014.03.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明のエッチング液は、膜密度が２．８０ｇ／ｃｍ3以上３．２５ｇ／ｃｍ3以下である酸化アルミニウム膜のエッチングに特化されている。また、本発明のエッチング液は、リン酸３０重量％以上８０重量％以下と、硝酸１０重量％以下と、界面活性剤０．０００５重量％以上０．００５０重量％以下と、を含有するよう調製されている。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
