To improve the efficiency of heating a filter by suppressing a decrease in temperature of a heating space portion of a case.SOLUTION: The adsorption unit comprises a filter formed in a plate shape, a heat radiation plate arranged so as to be opposed to a part of the filter, a part of the filter is heated via the heat radiation plate by heating the heat radiation plate A driving unit for moving the filter with respect to the heat radiation plate, and a case for covering the heat radiation plate. The internal space of the case has a heating space portion where a heater is disposed, and a heat insulating space portion that heat-insulates the heating space portion and the outside of the case.(FIG.【課題】ケースの加熱空間部の温度の低下を抑え、フィルタを加熱する効率を高める。【解決手段】吸着ユニットは、板状に形成されるフィルタと、フィルタの一部に対向して配置される放熱板と、放熱板を加熱することにより放熱板を介してフィルタの一部を加熱するヒータと、放熱板に対してフィルタを移動させる駆動部と、放熱板を覆うケースと、を備える。ケースの内部空間は、ヒータが配置される加熱空間部と、加熱空間部とケースの外部とを断熱する断熱空間部と、を有する。【選択図】図12
