The present invention includes a laser for generating an illumination beam ( 3 ) a light source ( 21 ) , the measured object ( 6 ) at least one measurement point on the surface of the ( 5, 23 ) on the illumination beam ( 3 ) focusing optics for focusing the (4 ) , a detector for detecting an observation beam reflected by the surface of the object ( 6 ) ( 9 ) and ( 10 ) , on the surface of the object ( 6 ) observation beam is focused to a ( 9 ) only the detector confocal observation optical system which allows passing to ( 10 ) ( 7 ) and a , using the confocal microscopy , the object ( 6 ) method for the three-dimensional measurement and an apparatus ( 20 ) . Laser light source ( 21 ) is provided with a plurality of coherent laser element ( 22 ) , these laser element ( 22 ) is focused on a plurality of measurement points on the surface of the object ( 6 ) ( 5, 23 ) for simultaneously emitting a light beam ( 3 ) , the laser element ( 22 ) is arranged to reduce the speckle effect in the 3D image data generated by the measurement . [ Selection Figure Figure 2本発明は、照明ビーム(3)を発生させるためのレーザ光源(21)と、測定される対象物(6)の表面上の少なくとも1つの測定点(5、23)上に照明ビーム(3)を集束させるための焦点調節光学系(4)と、対象物(6)の表面によって反射された観察ビーム(9)を検出するための検出器(10)と、対象物(6)の表面上に集束される観察ビーム(9)のみを検出器(10)へと通過させることを可能にする共焦点観察光学系(7)とを備える、共焦点顕微鏡法を使用する、対象物(6)の3次元測定の方法及び装置(20)に関する。レーザ光源(21)は、複数のコヒーレントレーザ素子(22)を備え、これらのレーザ素子(22)が、対象物(6)の表面上の複数の測定点(5、23)上に集束される照明ビーム(3)を同時に放射するため、レーザ素子(22)は、測定によって生成される3D画像データ内のスペックル効果を低減するように配置構成される。【選択図】図2
