BANYAY, MATUS,BANYAY, Matus,THIEL, FRANK,THIEL, Frank
申请号：
EPEP2012/067619
公开号：
WO2013/034754A1
申请日:
2012.09.10
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (20) zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts (6) unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, umfassend eine Laserquelle (21) zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls (3), eine Fokussieroptik (4) zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls (3) auf mindestens einen Messpunkt (5, 23) auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts (6), einen Detektor (10) zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts (6) zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls (9), eine konfokale Beobachtungsoptik (7), die nur den auf die Oberfläche des Objekts (6) fokussierten Beobachtungsstrahl (9) zum Detektor (10) durchläset. Die Laserquelle (21) umfasst dabei mehrere kohärente Laserelemente (22), wobei die Laserelemente (22) gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen (3) abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte (5, 23) auf der Oberfläche des Objekts (6) fokussiert werden, wobei die Laserelemente (22) so angeordnet sind, dass ein Speckle-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten 3D-Bilddaten vermindert wird.The invention relates to a method and a device (20) for three-dimensionally measuring an object (6) using a confocal microscopy method, comprising a laser source (21) for generating an illumination beam (3), a focussing optic (4) for focussing said illumination beam (3) on at least one measurement point (5, 23) on an object (6) surface that is to be measured, a detector (10) for registering an observation beam (9) which is beamed back from said object (6) surface, and a confocal observation optic (7) which only lets the observation beam (9) focussed on the object (6) surface through to the detector (10). The laser source (21) comprises a plurality of coherent laser elements (22) that simultaneously emit illumination beams (3) which are focussed on a plurality of measurement points (5, 23) on the object (6) surface, these laser elements (22) being arranged such that a speckle effect is reduced in the 3D imaging data produced duri
