反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 奥野 丈晴,石松 理絵
- 申请号：
- JP20150228311
- 公开号：
- JP2017097137(A)
- 申请日:
- 2015.11.24
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】波長帯域特性と入射角度特性に優れた反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器を提供すること。【解決手段】屈折率がNsubの光学基板上に、基板側から順に屈折率がN1、膜厚がD1の第1層、屈折率がN2、膜厚がD2の第2層、屈折率がN3、膜厚がD3の第3層、屈折率がN4、膜厚がD4の第4層、屈折率がN5、膜厚がD5の第5層、微細な凹凸形状を有する構造体からなり、屈折率がN6から1.0（空気）に向かって連続的に変化し、膜厚がD6の第6層を形成する際に、屈折率、膜厚を適切に設定する。【選択図】図１
- 来源网站：
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