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反射防止膜及びそれを有する光学素子並びに光学系
专利权人:
キヤノン株式会社
发明人:
天野 佐代子,山口 裕,桃木 和彦
申请号:
JP20130139632
公开号:
JP6124711(B2)
申请日:
2013.07.03
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
An anti-reflection film includes first through ninth layers. Regarding light having a wavelength of 550 nm, where the refractive indexes of the first through ninth layers are n1 through n9 respectively, the optical film thicknesses d1 through d9 (nm) respectively, and the maximum value of the difference in the refractive index between adjoining layers for layers 1 through 8 is &Dgr;n, the following conditions are satisfied. 1.60≦̸n1≦̸1.70, 15 nm≦̸d1≦̸140 nm, 2.00≦̸n2≦̸2.40, 20 nm≦̸d2≦̸120 nm, 1.60≦̸n3≦̸1.70, 11 nm≦̸d3≦̸70 nm, 2.00≦̸n4≦̸2.40, 20 nm≦̸d4≦̸165 nm, 1.60≦̸n5≦̸1.70, 15 nm≦̸d5≦̸45 nm, 2.00≦̸n6≦̸2.40, 90 nm≦̸d6≦̸175 nm, 1.60≦̸n7≦̸1.70, 50 nm≦̸d7≦̸110 nm, 2.00≦̸n8≦̸2.40, 20 nm≦̸d8≦̸50 nm, 1.20≦̸n9≦̸1.28, 140 nm≦̸d9≦̸160 nm, and 0.40≦̸&Dgr;n≦̸0.67.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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