反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 奥野 丈晴,石松 理絵
- 申请号:
- JP20160135537
- 公开号:
- JP2018005139(A)
- 申请日:
- 2016.07.08
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】波長帯域特性と入射角度特性に優れた反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器を提供すること。【解決手段】錐台形状ないしは略錐台形状が使用最短波長よりも小さなピッチで規則的に配列した微細構造体を有する反射防止膜であって、該微細構造体は、屈折率が600nm以下の厚さにわたって連続的に変化するとみなせる領域を有しており、光学基板と該微細構造体との間には5層以上の誘電体薄膜層が形成されていることを特徴とする。【選択図】図1
- 来源网站:
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