用于微加工超声换能器的电接触布置
- 专利权人:
- 蝴蝶网络有限公司
- 发明人:
- 乔纳森·M·罗思伯格,苏珊·A·阿列,热姆·斯科特·扎霍里安,保罗·弗朗西斯·克里斯特曼,基思·G·菲费
- 申请号：
- CN201780037888.8
- 公开号：
- CN109414727A
- 申请日:
- 2017.19.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 片上超声装置具有包括多个换能器单元的超声换能器基板和电基板。对于每个换能器单元,一个或更多个导电结合连接设置在超声换能器基板与电基板之间。电基板的示例包括CMOS芯片、包括模拟电路的集成电路、中介层和印刷电路板。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
