用于封装片上超声的方法和设备
- 专利权人:
- 蝴蝶网络有限公司
- 发明人:
- 刘建伟,基思·G·菲费
- 申请号：
- CN201980045060.6
- 公开号：
- CN112368574A
- 申请日:
- 2019.07.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 本文中描述了用于封装片上超声的方法和设备。片上超声可以耦接至再分布层以及耦接至中介层。包封体可以包封片上超声装置，并且第一金属柱可以延伸穿过包封体并且电耦接至再分布层。第二金属柱可以延伸穿过中介层。中介层可以包括氮化铝。第一金属柱可以电耦接至第二金属柱。印刷电路板可以耦接至中介层。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
