集成超声换能器
- 专利权人:
- 艾科索成像公司
- 发明人:
- 桑迪普·阿卡拉杰,优素福·哈克,雅努什·布雷泽克,乔·亚当
- 申请号:
- CN201980032638.4
- 公开号:
- CN112118791A
- 申请日:
- 2019.03.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要:
- 换能器组件(700)包括:微机电系统(MEMS)管芯(702),其包括多个压电元件(720);互补金属氧化物半导体(CMOS)管芯(704),其通过第一多个凸块(712)电耦合到MEMS管芯(702),并包括用于控制多个压电元件(720)的至少一个电路;封装(706),其通过粘合剂层(710)固定到CMOS管芯(704)并电连接到CMOS管芯(704)。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心