具有交错列的微加工超声换能器的导管换能器
- 专利权人:
- 皇家飞利浦有限公司
- 发明人:
- V·A·亨内肯,M·C·卢韦斯,R·德克尔
- 申请号：
- CN201580067085.8
- 公开号：
- CN106999163A
- 申请日:
- 2015.12.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 一种CMUT换能器阵列包括在至少一个硅岛上的第一列(58)间隔的CMUT单元，在至少一个另外的硅岛上的第二列(58)间隔的CMUT单元，所述第二列与所述第一列交错地排列，使得所述第二列的单元部分地设置于所述第一列的连续单元之间的空间内，所述第一列和所述第二列由间隙间隔开；以及保持各硅岛的柔性箔，所述柔性箔包括导电互连。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
