互补金属氧化物半导体(CMOS)晶片中的超声换能器及相关装置和方法
- 专利权人:
- 蝴蝶网络有限公司
- 发明人:
- 乔纳森·M·罗思伯格,基思·G·菲费,内华达·J·桑切斯,苏珊·A·阿列
- 申请号：
- CN201580025730.X
- 公开号：
- CN106659464B
- 申请日:
- 2015.17.04
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 描述了形成在互补金属氧化物半导体(CMOS)晶片中的微加工超声换能器,以及制造这种装置的方法。可以通过牺牲释放来去除CMOS晶片的金属化层,以产生超声换能器的腔。剩余层可以形成超声换能器的膜。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
