IRAZOQUI, Pedro, P.,HA, Dohyuk,CHAPPELL, William, J.,JOHN, Simon, W., M.
申请号：
USUS2012/060070
公开号：
WO2013/056130A1
申请日:
2012.10.12
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要：
Certain pressure sensor devices are much smaller than prior art devices, yet are at least as sensitive as the prior art devices. A capacitive pressure sensor can include a flexible substrate that permits bending of a pressure sensing region without significantly affecting operation thereof. The pressure sensor can include a flexible membrane in which an electrode is sandwiched between two layers of polymeric material. The sandwiched electrode can be extremely close to a reference electrode so as to provide for highly sensitive capacitance readings, yet the membrane can be restricted from contacting the reference electrode under high pressure conditions.La présente invention porte sur certains dispositifs de capteur de pression qui sont plus petits que des dispositifs de létat de la technique, mais sont au moins aussi sensibles que les dispositifs de létat de la technique. Un capteur de pression capacitif peut comprendre un substrat flexible qui permet la flexion dune région de détection de pression sans affecter de manière significative le fonctionnement de celui-ci. Le capteur de pression peut comprendre une membrane flexible dans laquelle une électrode est prise en sandwich entre deux couches de matière polymère. Lélectrode prise en sandwich peut être extrêmement proche dune électrode de référence de manière à fournir des lectures de capacité hautement sensibles, mais la membrane peut être limitée pour venir en contact avec lélectrode de référence sous des conditions de pression élevée.
