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OPTICAL INTERFERENCE TOMOGRAPHIC DEVICE, CONTROL METHOD THEREOF AND OPTICAL INTERFERENCE TOMOGRAPHIC SYSTEM
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
KATASHIBA YUJI,片芝 悠二
申请号:
JP2016135773
公开号:
JP2017064378A
申请日:
2016.07.08
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To switch optical magnification by exchanging an objective lens with a simple optical system, with no increase in calculation burden on dispersion compensation calculation.SOLUTION: An optical interference tomographic device is configured of a light source for generating light, light splitting means for splitting the light from the light source into a reference light and a measuring light, detection means for detecting intensity of a multiplex light which is obtained by multiplexing the reference light with a return light from an inspected object having been irradiated with the measuring light, image formation means which forms a tomographic image of the inspected object based on the detected intensity, and arrangement means for selectively arranging a plurality of objective lenses having a different focal length with the same dispersion amount on an optical axis, at a position in an optical path of the measuring light facing the inspected object.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】簡単な光学系で、かつ、分散補償計算の計算負荷を増加させることなく、対物レンズ交換による光学倍率の切り替えを行う。【解決手段】光を発生させる光源と、光源からの光を参照光と測定光とに分割する光分割手段と、測定光を照射した被検査物からの戻り光と参照光とを合波して得た合波光の強度を検出する検出手段と、検出された強度に基づいて被検査物の断層画像を形成する画像形成手段と、焦点距離が異なると共に光軸上の分散量が同一である複数の対物レンズを、被検査物に対向する測定光の光路上の位置に選択的に配置する配置手段と、より光干渉断層撮影装置を構築する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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