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光画像計測装置
专利权人:
TOPCON CORP
发明人:
ISHINABE IKUO,石鍋 郁夫,HAYASHI TAKESHI,林 健史
申请号:
JP2011256899
公开号:
JP2013113587A
申请日:
2011.11.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten scan time in OCT measurement.SOLUTION: In an optical image measuring apparatus, a first division part divides light from a light source into signal light and reference light. A second division part divides an optical path of the signal light into a plurality of signal optical paths having respectively different optical path lengths. A synthesis part synthesizes a plurality of signal lights through the plurality of signal optical paths. A third division part divides the optical path of the reference light into a plurality of reference optical paths respectively having optical path lengths corresponding to the plurality of signal optical paths. A superposition part superposes return lights of the plurality of synthesized signal lights from an object to be measured to the plurality of reference lights passed through the plurality of reference optical paths to generate interference light. A fourth division part divides an optical path of the interference light into a plurality of interference optical paths. A detection part is arranged on each interference optical path to detect the interference light. A scanning part scans the signal light. A formation part forms a plurality of tomographic images of the object to be measured based on detection results of a plurality of detection parts respectively detecting interference lights between the return lights of scanned signal lights and the reference lights.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】OCT計測におけるスキャン時間の短縮を図る。【解決手段】光画像計測装置の第1分割部は、光源からの光を信号光と参照光とに分割する。第2分割部は、信号光の光路を、異なる光路長を有する複数の信号光路に分割する。合成部は、複数の信号光路を経由した複数の信号光を合成する。第3分割部は、参照光の光路を、複数の信号光路に対応する光路長を有する複数の参照光路に分割する。重畳部は、合成された複数の信号光の被測定物体からの戻り光と、複数の参照光路を経由した複数の参照光とを重畳させて干渉光を生成する。第4の分割部は、干渉光の光路を複数の干渉光路に分割する。検出部は、各干渉光路に設けられて干渉光を検出する。走査部は信号光を走査する。形成部は、走査された信号光の戻り光と参照光との干渉光の複数の検出部による検出結果に基づいて、被測定物体の複数の断層像を形成する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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