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INTERFEROMETER
专利权人:
株式会社トーメーコーポレーション;TOMEY CORPORATION
发明人:
KAMO TAKASHI,加茂 考史,NOZAWA YUJI,野澤 有司
申请号:
JP2018038678
公开号:
JP2019150381A
申请日:
2018.03.05
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
To provide an interferometer capable of inhibiting backscattering light scattering backward of scattering light generated in an optical fiber in a reference optical path, at least part of which is configured using the optical fiber, from entering a measurement optical path.SOLUTION: An interferometer 100 for leading light output from a light source 101 to a beam splitter 102 to divide the light into measurement light and reference light; irradiating a subject with the measurement light obtained by the division; leading the measurement light reflected from the subject to a beam splitter 103 through the beam splitter 102; leading the reference light obtained by the division by the beam splitter 102 to the beam splitter 103 through an optical fiber; and multiplexing the measurement light and the reference light that are led by the beam splitter 103 to generate interference light includes a 0-point adjustment mechanism 30 configured using a free space, the 0-point adjustment mechanism being arranged on a path on which the reference light from the beam splitter 102 reaches the beam splitter 103 through the optical fiber.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】少なくとも一部を光ファイバで構成する参照光路において、光ファイバ内で生じた散乱光の内、後方へ散乱する後方散乱光が測定光路に入り込むこと抑止することができる干渉計を提供すること。【解決手段】光源101から出力された光を、ビームスプリッタ102に導いて測定光と参照光とに分割し、分割した測定光を被検物に照射し、該被検物から反射した測定光を、ビームスプリッタ102を経由してビームスプリッタ103に導き、ビームスプリッタ102で分割した参照光を、光ファイバを経由してビームスプリッタ103に導き、ビームスプリッタ103に導かれた測定光と参照光とが合波して干渉光を生成する干渉計100において、参照光が、ビームスプリッタ102から光ファイバを経由してビームスプリッタ103に至る経路にフリースペースで構成した0点調整機構30を配置した。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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