METHOD OF FORMING A MULTILAYER STRUCTURE
- 专利权人:
- ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
- 发明人:
- DEYAN WANG
- 申请号：
- KR20180034829
- 公开号：
- KR20180109737(A)
- 申请日:
- 2018.03.27
- 申请国别(地区):
- 韩国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 액체 캐리어 및 특정 MX/흑연질 탄소 전구체를 포함하는 조성물은 유리 기판 상에 배치된 MX 층 및 흑연질 탄소 층을 갖는 다층 구조를 형성하는데 유용하고, 상기 MX 층은 상기 다층 구조에서 상기 기판과 상기 흑연질 탄소층 사이에 개제된다.
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
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