An image acquisition apparatus irradiates light from a light source to an inspection object, obtains a tomographic image of the inspection object on the basis of a combined beam obtained by combining a return beam from the inspection object due to the irradiated light and a reference beam corresponding to the light, and obtains a plane image of the inspection object on the basis of the return beam from the inspection object due to the irradiated light. The apparatus performs a first scanning process to main-scan the irradiated light when the tomographic image is obtained, performs a second scanning process to main-scan the irradiated light at a speed higher than that in the first scanning process when the plane image is obtained, and performs a third scanning process to sub-scan the irradiated light when each of the tomographic image and the plane image is obtained.Un appareil dacquisition dimages irradie de la lumière à partir dune source lumineuse sur un objet dinspection, obtient une image tomographique de cet objet sur la base du faisceau combiné obtenu par combinaison dun faisceau de retour provenant de lobjet dinspection à la suite de la lumière irradiée et dun faisceau de référence correspondant à la lumière, et obtient ainsi une image plan de lobjet dinspection. Lappareil exécute une première passe de balayage principal de la lumière irradiée au moment de lobtention de limage tomographique, une seconde passe de balayage principal à une vitesse supérieure à celle du premier balayage au moment de lobtention de limage plane, puis une troisième passe de balayage secondaire de la lumière irradiée une fois obtenues limage tomographique et limage plan.
