in the image pickup apparatus for irradiating the inspected object with light from a light source and a reference beam corresponding to the light , according to the synthetic beam obtained by synthesizing the return beam from the inspection subject by the irradiation light image pick -up , and a tomographic image of the inspected object , the inspected object on the basis of a return beam from the inspection subject by the irradiation with light the imaging of the two-dimensional image . Further , the apparatus performs a first scanning process of the main scan to the irradiated light when sensing the tomographic image , and the second for main scanning the irradiated light at a high speed than the first scan processing when the image sensing plane of the image haenghamyeo the scanning process , when the image pick-up each of the tomographic image and the two-dimensional image , the irradiated light to the sub-scan to the third scan processing is performed .광원으로부터의 빛을 피검사물에 조사하는 촬상장치는, 상기 빛에 대응하는 참조빔과 조사된 빛에 의한 상기 피검사물로부터의 리턴빔을 합성해서 얻은 합성 빔에 의거해서 상기 피검사물의 단층 화상을 촬상하고, 상기 조사된 빛에 의한 상기 피검사물로부터의 리턴빔에 의거해서 상기 피검사물의 평면 화상을 촬상한다. 또한, 상기 장치는 상기 단층 화상을 촬상할 때 상기 조사된 빛을 주주사하는 제1 주사처리를 행하고, 상기 평면 화상을 촬상할 때 상기 제1 주사처리보다 고속으로 상기 조사된 빛을 주주사하는 제2 주사처리를 행하며, 상기 단층 화상과 상기 평면 화상의 각각을 촬상할 때, 상기 조사된 빛을 부주사하는 제3 주사처리를 행한다.
