光学膜厚在线测量折射率的方法
- 专利权人:
- 河南中光学集团有限公司
- 发明人:
- 赵升林,孙龙,菊池和夫
- 申请号：
- CN200710054021.1
- 公开号：
- CN101017085A
- 申请日:
- 2007.02.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2007
- 代理人:
- 张晓萍
- 摘要：
- 本发明涉及一种光学膜厚在线测量折射率的方法，该方法利用计算机对膜层的实时折射率进行在线测量，并利用实时折射率值对监控电压信号的理论变化曲线进行修正，当镀膜曲线进行到峰值点或谷值点的时候，自动计算出实时折射率，修正停止点电压值和理论曲线，并将实时折射率显示在屏幕上。从而可以剔除蒸镀过程中各种随机的不可控因素对监控信号的影响，准确地计算和控制蒸镀停止点，同时，可以直观、精确地显示观察蒸镀情况的理论曲线和实际曲线的实时变化，还可以对镀件蒸镀的工艺条件和环境各项因素进行改进和调整，改善光学镀膜人机系统诸要素对镀膜工艺质量的保障水平。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
