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一种薄膜折射率和色散系数的获取方法
- 专利权人:
- 宁波大学
- 发明人:
- 金友良,宋宝安,魏凤娟
- 申请号：
- CN201610465740.1
- 公开号：
- CN106198454A
- 申请日:
- 2016.06.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 程晓明
- 摘要：
- 本发明公开了一种薄膜折射率与色散系数获取方法，首先利用分光光度计测量得到具有干涉调制现象的透射曲线，然后利用Savitzky‑Golay分段滤波法滤除信号频率5倍以上的高频噪声，得到光滑的透射曲线后再利用循环比较方法获得该曲线的峰谷值数据及其对应的光波长，再利用三阶样条插值的方法分别对离散的峰值数据与谷值数据进行插值，获得连续的随光波长变化的波峰曲线，利用该数据可得到相应光波长处薄膜的折射率，将上述获得的折射率及相应的光波长代入干涉方程得到薄膜厚度，利用薄膜厚度、干涉级次等参数对求得的薄膜折射率进行修正可精确得到不同峰值波长处薄膜的折射率n'(λ)，进一步利用ng＝n'‑λdn'/dλ得到群速折射率ng，最后利用Dλ＝c‑1d ng/dλ得到该薄膜在不同波长处的色散系数Dλ。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
