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一种透明介质膜层折射率及厚度在线测量方法
- 专利权人:
- 中国建筑材料科学研究总院;北京航玻新材料技术有限公司
- 发明人:
- 余刚,汪洪,王永斌,杨中周
- 申请号：
- CN201410670390.3
- 公开号：
- CN105606566A
- 申请日:
- 2014.11.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 王伟锋`刘铁生
- 摘要：
- 本发明公开了一种透明介质膜层折射率及厚度在线测量方法，包括：获得膜面反射光谱：将被测镀膜样品利用在线光谱测量装置测得预定波长范围的膜面反射光谱；进行柯西光学模型参数设置：根据薄膜膜面反射光谱特点及柯西光学模型中各参数对折射率色散关系的影响进行厚度及柯西光学模型参数初始设置，形成初始值；遗传算法：利用遗传算法，通过初始值，结合膜面反射光谱，通过遗传算法参数设置控制遗传过程，最终得到膜层折射率及膜层厚度。本发明通过建立膜层柯西光学模型，可以和遗传算法充分结合，根据实际生产膜层的光谱特征设置合理的参数，使分析收敛速度更快，结果更准确。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
