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透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置
- 专利权人:
- 中国建筑材料科学研究总院;北京航玻新材料技术有限公司
- 发明人:
- 余刚,汪洪,王永斌,杨中周
- 申请号：
- CN201410670988.2
- 公开号：
- CN105675511A
- 申请日:
- 2014.11.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 王伟锋`刘铁生
- 摘要：
- 本发明公开了一种透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置，该测量方法包括：获得各点膜面反射光谱；对各点膜面反射光谱进行光学性能分析；获得膜层折射率及膜层平均厚度；进行均匀性分析后得到膜层厚度均匀性分布结果。本发明还公开了一种在线光谱测量装置，包括支架，所述支架上设有导轨，所述导轨上设有测量探头，所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器，另一侧的支架上设有第二位置传感器，当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时，所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试，用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。本发明能够同时获得膜层折射率及平均厚度，不受膜层种类影响，具有通用性能。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
