合金窒化物膜形成装置および合金窒化物膜形成方法
- 专利权人:
- 神港精機株式会社
- 发明人:
- 野間 正男
- 申请号：
- JP20150136038
- 公开号：
- JP2017020056(A)
- 申请日:
- 2015.07.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高品質な合金窒化物膜を形成すると共に、その組成比に柔軟に対応する合金窒化物膜形成装置の提供。【解決手段】固体材料に電子ビーム２６ａを照射するとともに、プラズマ発生手段により窒素プラズマを生成することにより合金窒化物膜を形成する合金窒化膜形成装置において、蒸発源２０は合金窒化物膜の合金成分材料である２種類の固体材料２２ａ、２２ｂが個別に収容される坩堝を有し、各固体材料２２ａ、２２ｂは、１つの電子銃によって各固体材料２２ａ、２２ｂそれぞれの気化量を制御することにより合金窒化物膜の合金成分の組成比を制御する合金窒化物膜形成装置。【選択図】図６
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
