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アルカリ土類金属酸化物研磨パッドの形成
专利权人:
ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド
发明人:
ドナ・エム・オールデン,デービッド・ビー・ジェームズ,アンドリュー・アール・ワンク,ジェームズ・ムルナン
申请号:
JP20130099412
公开号:
JP6072600(B2)
申请日:
2013.05.09
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
The invention involves a method of preparing an alkaline-earth metal oxide-containing polishing pad useful for polishing at least one of semiconductor, magnetic and optical substrates. The method includes introducing a feed stream of gas-filled polymeric microelements into a gas jet, the polymeric microelements having varied density, varied wall thickness and varied particle size. The method passes the polymeric microelements in the gas jet adjacent a Coanda block, the Coanda block having a curved wall for separating the polymeric microelements with Coanda effect, inertia and gas flow resistance. Then it separates various alkaline earth metal oxide constituents from the curved wall of the Coanda block to clean the polymeric microelements.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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