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複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料
专利权人:
堺化学工業株式会社;国立大学法人静岡大学;一般財団法人ファインセラミックスセンター
发明人:
小泉 寿夫,高橋 直人,橋本 大樹,加藤 良一,山本 務,見上 勝,和田 瑞穂,須田 聖一,川原 浩一,鈴木 俊正
申请号:
JP20150134548
公开号:
JP2017014436(A)
申请日:
2015.07.03
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】製造プロセスが簡便で、特殊な設備を導入することなく、研磨特性(研磨速度等)に優れるセリウムフリーの研磨材料を低コストで得るための製造方法を提供すること。また、良好な研磨特性を有し、かつ製造コストの削減を実現することが可能なセリウムフリーの研磨材料を提供すること。【解決手段】ストロンチウム化合物、チタン化合物及びジルコニウム化合物を混合する混合工程と、該混合工程により得られた混合物を焼成する焼成工程とを含み、該チタン化合物に含まれる硫黄化合物のSO3換算量が、該チタン化合物のTiO2換算量100重量部に対し、2.0重量部以下である複合金属酸化物研磨材料の製造方法。【選択図】なし
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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