GSI HELMHOLTZZENTRUM FÜR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH
发明人:
STÖCKER, Horst,DURANTE, Marco
申请号：
EPEP2012/071567
公开号：
WO2013/083333A1
申请日:
2012.10.31
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要：
The invention relates to an irradiation arrangement (1, 3) for irradiating a workpiece (12) with a particle beam (10). The irradiation arrangement (1, 3) comprises a particle beam supply device (2, 9), a workpiece accommodation device (13) and a position-sensitive particle monitoring device (14), characterised in that the position-sensitive particle monitoring device (14) is arranged on the distal side of the workpiece accommodation device (13), when seen from the particle beam supply device (2, 9).La présente invention concerne un agencement dirradiation (1, 3) destiné à irradier une pièce de travail (12) avec un faisceau de particules (10). Le dispositif dirradiation (1, 3) comprend un dispositif à faisceau de particules (2, 9), un dispositif de réception de pièce de travail (13) et un dispositif de surveillance des particules sensible à la position (14), caractérisé en ce que le dispositif de surveillance de particules sensible à la position (14) est disposé sur le côté distal du dispositif de réception de la pièce de travail (13), lorsquil est observé depuis le dispositif à faisceau de particules (2, 9).
