The present invention inhibit irradiation (30) nitrate nitrogen oxides produced by irradiating an electron beam in a The . An electron beam irradiation to the vessel (2) irradiation of the electron beam irradiation surface (28) on the container (2) facing the { Chang Park (29b) is attached irradiation window (29a)} to be conveyed by the vessel conveying device 24 it is to sterilization , an electron beam irradiation device 28 and the irradiation surface of the irradiation target to surround the container (2) has been installed and the irradiation chamber 30. in addition , the irradiation chamber 30 is installed clean room (32 ) to the outlet side of and , is also connected to a dry air supply means 80 for supplying a dried aseptic air in the irradiation chamber (30) . By dehumidifying the inside irradiation chamber 30, the electron beam is irradiated to suppress the NOx is prevented from being changed to nitric acid corrosion of metal added .본 발명은 조사실(30) 내에 전자선을 조사함으로써 생성된 질소 산화물이 질산이 되는 것을 억제한다. 용기 반송 장치(24)에 의해 반송되는 용기(2)에 전자선 조사 장치(28)의 조사면{창박(29b)이 부착된 조사창(29a)}을 향하게 하여 이 용기(2)에 전자선을 조사해서 살균하는 것이며, 전자선 조사 장치(28)의 조사면과 조사 대상인 용기(2)를 둘러싸는 조사실(30)을 설치함과 아울러, 이 조사실(30)의 출구측에 무균실(32)을 설치하고, 또한 상기 조사실(30)에 건조 무균 에어를 공급하는 드라이 에어 공급 수단(80)을 접속한다. 전자선이 조사되는 조사실(30) 내를 제습함으로써 질소 산화물이 질산으로 변하는 것을 억제하여 금속부가 부식되는 것을 방지한다.
