(A) the thickness of the first membrane is larger in the direction perpendicular to the upper surface of one membrane than in the second membrane, or (b) the thickness of the first membrane is larger than that of the second membrane, ) At least one of the first air gap layer surrounded by the first membrane support portion has a smaller space area in the direction parallel to the upper surface of one membrane than the second air gap layer surrounded by the second membrane support portion (C) the thickness of the second membrane is larger in the direction perpendicular to the upper surface of one membrane than in the first membrane, or (d) the second gap layer surrounded by the second membrane support is And a space area in a direction parallel to the upper surface of one membrane is smaller than that of the first air gap layer surrounded by one membrane support portion.各電極への配線が容易な構造で基板上にcMUT素子を積層するとともに、 (a)第1メンブレンは第2メンブレンよりも、1メンブレン上面と垂直な方向の厚さが大きい、若しくは、(b)第1メンブレン支持部に囲繞された第1空隙層は第2メンブレン支持部に囲繞された第2空隙層よりも、1メンブレン上面と平行な方向の空間面積が小さい、の少なくとも一方の特徴を有する、又は、(c)第2メンブレンは第1メンブレンよりも、1メンブレン上面と垂直な方向の厚さが大きい、若しくは、(d)第2メンブレン支持部に囲繞された第2空隙層は第1メンブレン支持部に囲繞された第1空隙層よりも、1メンブレン上面と平行な方向の空間面積が小さい、の少なくとも一方の特徴を有する。
