PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grid configured by using nanoimprint and having a high aspect ratio.SOLUTION: A second grid 14 is configured by: a grid part 17 having a plurality of x-ray absorption parts 20 and a plurality of x-ray transmission parts 21 and a support substrate 18 for supporting the grid part 17. The grid part 17 is composed of first to fourth grid layers 23 to 26 laminated in a z direction to be an x-ray irradiation direction, and the x-ray absorption parts 20 and the x-ray transmission parts 21 are respectively configured by first to fourth x-ray absorption areas 23a to 26a and first to fourth x-ray transmission areas 23b to 26b. The x-ray absorption areas 23a to 26a and the first to fourth x-ray transmission areas 23b to 26b of the first to fourth grid layers 23 to 26 are arranged so as to be respectively shifted from the x-ray absorption area and the x-ray transmission area of the adjacent grid layer adjacent on the x-ray focus side in a direction facing the outside of an x-ray optical axis A.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】ナノインプリントを用いて構成された高アスペクト比のグリッドを提供する。【解決手段】第2のグリッド14は、複数のX線吸収部20及びX線透過部21を有するグリッド部17と、グリッド部17を支持する支持基板18とから構成されている。グリッド部17は、X線照射方向であるz方向に沿って積層された第1~第4のグリッド層23~26からなり、X線吸収部20及びX線透過部21は、第1~第4のX線吸収領域23a~26a及び第1~第4のX線透過領域23b~26bにより構成されている。第1~第4のグリッド層23~26の第1~第4のX線吸収領域23a~26a及び第1~第4のX線透過領域23b~26bは、X線焦点側で隣接する隣接グリッド層のX線吸収領域及びX線透過領域に対し、X線光軸Aの外側に向かう方向にずらして配置されている。【選択図】図2
