CHRISTOPH BERT,ベルト,クリストフ,HABERER THOMAS,ハベレル,トーマス,EIKE RIETZEL,リッツェル,エイケ
申请号：
JP2016044218
公开号：
JP2016105841A
申请日:
2016.03.08
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for irradiating a target, and control system for controlling such devices.SOLUTION: A method of irradiating a target with a beam for scanning a target point, includes the steps of: measuring at least one of quantities as a position of the beam and intensity of the beam and changing the beam according to the at least one measured quantity, especially according to a deviation related to the at least one measured quantity.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】ターゲットを照射するための装置、およびそのような装置を制御するための制御システムを提供する。【解決手段】ターゲット点を走査するビームによってターゲットを照射するための方法であって、ビームの位置およびビームの強度という量の少なくとも一方を測定するステップと、少なくとも一方の測定された量に応じて、特に、少なくとも一方の測定された量に関する偏差に応じてビームを変更するステップとを含む方法に関する。【選択図】 図2
