This invention being manner in order to irradiate the target with the beam which scans the target dot, regards the manner which includes with the step alteration the beam according to the deflection regarding the tonnage which one side was measured at least according to the step which measures at least one side of the tonnage, position of the beam and strength of the beam and the tonnage which one side was measured at least, especially. This manner the tonnage which one side is measured at least, being most numerous concerning the target dot, 1 times features that it is measured. Furthermore, this invention following to the manner due to this invention, regards also the control system in order to control the device, and that kind of device in order to irradiate the target.本発明は、ターゲット点を走査するビームによってターゲットを照射するための方法であって、ビームの位置およびビームの強度という量の少なくとも一方を測定するステップと、少なくとも一方の測定された量に応じて、特に、少なくとも一方の測定された量に関する偏差に応じてビームを変更するステップとを含む方法に関する。この方法は、少なくとも一方の測定される量が、ターゲット点につき最多で1回測定されることを特徴とする。さらに、本発明は、本発明による方法に従ってターゲットを照射するための装置、およびそのような装置を制御するための制御システムにも関する。
