PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam irradiation apparatus capable of efficiently generating ozone by devising gas to be introduced into an irradiation area and capable of preventing the electron beam irradiation apparatus itself and a shielding wall from being corroded.SOLUTION: An electron beam irradiation apparatus 100 includes: an electron gun 110 for emitting thermal electrons an accelerator 118 for accelerating thermal electrons emitted from the electron gun 110 in a vacuum chamber maintained in a vacuum state a scan horn 120 for extracting the thermal electrons accelerated by the accelerator 118 to an atmospheric pressure atmosphere as an electron beam and an oxygen introduction device 300 for introducing oxygen into an irradiation area R in which the electron beam extracted into the atmospheric pressure atmosphere is applied to an object W to be irradiated.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】照射領域に導入する気体を工夫することで、効率的にオゾンを発生させることができるとともに、電子線照射装置や遮蔽壁の腐食を防止する。【解決手段】電子線照射装置100は、熱電子を放出する電子銃110と、真空状態に維持される真空室内で電子銃110から放出された熱電子を加速する加速器118と、加速器118が加速した熱電子を電子線として大気圧雰囲気に取り出すスキャンホーン120と、大気圧雰囲気に取り出された電子線が被照射物Wに照射される領域である照射領域Rに酸素を導入する酸素導入装置300とを備える。【選択図】図1
