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Electron beam irradiation device
专利权人:
浜松ホトニクス株式会社
发明人:
松村 達也
申请号:
JP2016002726
公开号:
JP6068693B1
申请日:
2016.01.08
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
In an electron beam irradiation apparatus including an electron beam guide portion having a long cylindrical member that can be inserted into the container from the mouth portion of the container, the electron beam is stably emitted from the tip side of the electron beam guide portion. An electron beam is emitted from the window. An electron beam irradiation apparatus 1a includes an electron gun 2 that generates an electron beam EB, a vacuum vessel 3 that constitutes a vacuum space Z that accommodates the electron gun 2, and a base end side connected to the vacuum vessel 3 to form a vacuum. A long cylindrical member that communicates with the space Z and can be inserted into the bottle B via the mouth portion Ba of the bottle B is provided at the front end side, and the electron beam EB generated by the electron gun 2 passes through the inside. A guide portion 10 that passes through, an electron beam exit window 11 that is provided on the distal end side of the guide portion 10 and emits an electron beam EB, and an adjustment electromagnetic coil 13 that adjusts the trajectory of the electron beam EB in the guide portion 10. To do. The adjusting electromagnetic coil 13 is disposed on the proximal end side of the guide portion 10 outside the vacuum space Z. [Selection] Figure 2【課題】容器の口部から当該容器内に挿入可能な長尺の筒状部材を有する電子線ガイド部を備えた電子線照射装置において、安定して電子線ガイド部の先端側の電子線出射窓から電子線を出射させる。【解決手段】電子線照射装置1aは、電子線EBを発生させる電子銃2と、電子銃2を収容する真空空間Zを構成する真空容器3と、基端側が真空容器3に接続されて真空空間Zと連通すると共に先端側にはボトルBの口部Baを介して当該ボトルB内に挿入可能な長尺の筒状部材が備えられ、電子銃2で発生させた電子線EBが内部を通過するガイド部10と、ガイド部10の先端側に設けられ電子線EBを出射する電子線出射窓11と、ガイド部10における電子線EBの軌道を調整する調整用電磁コイル13と、を具備する。調整用電磁コイル13は、真空空間Zの外部においてガイド部10の基端側に配置されている。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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