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一种药物电控释芯片及其制作方法
- 专利权人:
- 太原理工大学
- 发明人:
- 冀健龙,黄庆,王红旺,王靖宵,江小宁,桑胜波,张文栋
- 申请号:
- CN201910182020.8
- 公开号:
- CN109908460A
- 申请日:
- 2019.11.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明一种药物电控释芯片及其制作方法,属于药物电控释芯片及其制作方法技术领域;所要解决的技术问题为:提供一种药物电控释芯片及其制作方法;解决该技术问题采用的技术方案为:包括导线层、基底、Pad、通孔、绝缘层、微电极对阵列、防漏层、药物层和多条引线;所述基底上层由下到上依次设置有导线层、绝缘层、微电极对阵列、至少一层药物层和至少一层防漏层;所述导线层由MEMS工艺制备得到,所述导线层内部设置有末端Pad;所述绝缘层由MEMS工艺制备得到,所述绝缘层上设置有多个通孔;所述微电极对由MEMS工艺制备得到,所述微电极对阵列通过绝缘层的通孔中金属与导线层及pad相连;所述微电极对由两个相对的贵金属微电极组成;本发明应用于药物电控释芯片制作。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/