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一种药物电控释芯片及其制作方法
专利权人:
太原理工大学
发明人:
冀健龙,黄庆,王红旺,王靖宵,江小宁,桑胜波,张文栋
申请号:
CN201910182020.8
公开号:
CN109908460A
申请日:
2019.11.03
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
本发明一种药物电控释芯片及其制作方法,属于药物电控释芯片及其制作方法技术领域;所要解决的技术问题为:提供一种药物电控释芯片及其制作方法;解决该技术问题采用的技术方案为:包括导线层、基底、Pad、通孔、绝缘层、微电极对阵列、防漏层、药物层和多条引线;所述基底上层由下到上依次设置有导线层、绝缘层、微电极对阵列、至少一层药物层和至少一层防漏层;所述导线层由MEMS工艺制备得到,所述导线层内部设置有末端Pad;所述绝缘层由MEMS工艺制备得到,所述绝缘层上设置有多个通孔;所述微电极对由MEMS工艺制备得到,所述微电极对阵列通过绝缘层的通孔中金属与导线层及pad相连;所述微电极对由两个相对的贵金属微电极组成;本发明应用于药物电控释芯片制作。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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