研磨組成物及び研磨方法
- 专利权人:
- 信越化学工業株式会社
- 发明人:
- 野島 義弘,高橋 光人
- 申请号：
- JP20150223811
- 公开号：
- JP2017092373(A)
- 申请日:
- 2015.11.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】研磨加工工程における欠陥の低減と研磨速度を両立させることができる研磨組成物を提供する。【解決手段】砥粒を含む研磨組成物であって、前記砥粒が表面を２種類以上の有機化合物により修飾されたものであり、前記２種類以上の有機化合物は、それぞれ前記砥粒と反応し、化学結合を形成する官能基（Ａ）とそれ以外の官能基（Ｂ）を有するものであり、前記官能基（Ｂ）は互いに可逆的な結合を形成する、又は水素結合により相互作用するものであることを特徴とする研磨組成物。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
