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干燥基板的方法和使用该方法制造图像显示装置的方法
专利权人:
佳能株式会社
发明人:
内海一成
申请号:
CN201110264490.2
公开号:
CN102435051A
申请日:
2011.09.08
申请国别(地区):
中国
年份:
2012
代理人:
卜荣丽
摘要:
本申请涉及干燥基板的方法和使用该方法制造图像显示装置的方法。该干燥基板的方法包括:斜向下地将第一气流(4)供给到基板上;斜向上地将第二气流5供给到基板上,同时相对地移动基板及上吹送部分和下吹送部分,以使得基板从作为基板的前面的端部区域经过上吹送部分与下吹送部分之间;控制第一气流和第二气流,以使得第二气流在与虚拟平面垂直的向上方向上的速度分量比第一气流在与虚拟平面垂直的向下方向上的速度分量小。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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